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| 速度 | |||
| 标记速度（1） | 6000mm/s | ||
| 定位速度（1） | 8000mm/s | ||
| 写入速度（2） | 280cps | ||
| 阶跃响应时间（全行程1%） | ≤0.1ms | ||
| 阶跃响应时间（全行程10%） | ≤0.4ms | ||
| 跟踪误差 | ≤200us | ||
| 精度及误差 | |||
| 线性度 | ≥99.9% | ||
| 重复定位精度 | ＜8µRad/℃ | ||
| 增益误差 | ＜5mRad | ||
| 零点偏移（批量原点误差） | ＜5mRad/℃ | ||
| 长时间漂移（连续工作8小时） | ＜0.8mRad | ||
| 比例漂移 | ＜75PPM/℃ | ||
| 零点漂移 | ＜20µRad/℃ | ||
| 镜片损伤阈值 | |||
| Si基体 | 10J/cm2 | ||
| 镜片反射波长（3） | 10600nm / 1064nm / 355nm | ||
| 电源及信号 | |||
| 输入电压 | ±15VDC | ||
| 最大平均工作电流 | ＜1.5A | ||
| 信号接口 | 数字 | XY2-100 | |
| 模拟 | ±5V | ||
| 峰值电流 | 18A | ||
| 位置信号输入抗阻 | 10KΩ±1% | ||
| 机械扫描角度 | ±12° | ||
| 工作电流、温度、尺寸 | |||
| 工作温度 | 25±20℃ | ||
| 储存温度 | -10℃--60℃ | ||
| 激光输入孔径 | 10-12mm | ||
| 振镜尺寸（长*宽*高） | 122*96.5*101.0mm | ||
| 振镜重量 | ≈1.8kg | ||
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