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振镜S系列
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振镜S系列

SCAN20 高速振镜

产品描述:
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  速度
  标记速度(1)2000mm/s
  定位速度(1)2000mm/s
  写入速度(2)150cps
  阶跃响应时间(全行程1%)≤0.26ms
  阶跃响应时间(全行程10%)≤0.64ms
  跟踪误差≤200us
 精度及误差
  线性度≥99.9%
 重复定位精度<8µRad/℃
 增益误差<5mRad
 零点偏移(批量原点误差)<5mRad/℃
 长时间漂移(连续工作8小时)<0.8mRad
 比例漂移<75PPM/℃
  零点漂移<20µRad/℃
 镜片损伤阈值
  Si基体10J/cm2
  镜片反射波长(3)10600nm / 1064nm 
 电源及信号
  输入电压±15VDC
  最大平均工作电流<1.5A
  信号接口数字XY2-100
模拟±5V
  峰值电流18A
  位置信号输入抗阻10KΩ±1%
  机械扫描角度±12.5°
 工作电流、温度、尺寸
  工作温度25±20℃
  储存温度-10℃--60℃
  激光输入孔径20mm
  振镜尺寸(长*宽*高)183*145*142.5mm
  振镜重量≈3.5kg