开发三轴扫描振镜是由于输出镜头的成本和大小限制以及二轴扫描振镜的光束孔径限制，这种限制有碍于在中等大小扫描范围内产生较小光斑的功能。三轴扫描振镜满足客户对于小光斑大尺寸加工范围的应用要求，并允许用户使用相同扫描振镜改变工作距离、范围和光斑大小。三轴技术也适用于针对移动目标的动态应用，因为在三维应用中，相应的激光设备能够加工非平面部件或不光滑表面以及高功率产品。现在，这些解决方案用于频率 nd:yag、二极管和 co2 激光器。

功能描述

 在三轴扫描振镜工作时，激光束首先进入移动镜头。透过移动镜头之后，光束快速分散，直到进入一个或两个聚焦镜头。现在会聚的光束穿过镜头，并由一组 x 和 y 镜片(这些镜片由振镜式扫描器移动)引导。x 和 y 镜片呈直角排列，向下引导光束，覆盖工作范围的长和宽。

 在没有焦点校正的扫描振镜中，向任一轴向移动工作范围中心聚焦的激光光斑时，都会划出一个弧形，在工作范围上方产生一个聚焦点的球面。在远离工作范围中心的位置，激光光束没有聚焦。这是因为当扫描器将光束向远离工作范围中心的方向引导时，从镜头到工件的距离增加了。